當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名: 韓曉泉
  • 性別: 男
  • 職稱: 正高級工程師
  • 職務: 
  • 學歷: 博士
  • 電話: 15001393519
  • 傳真: 
  • 電子郵件: hanxiaoquan@ime.ac.cn
  • 所屬部門: 光電研發中心
  • 通訊地址: 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡  歷:

  • 教育背景:

    2000.92005.4 中國科學院長春光機所 機械制造及其自動化專業, 工學博士 

    1996.92000.7  四川大學       工業自動化專業      工學學士 

    工作簡歷: 

    2005.042008.11 中科院光電研究院 助研 

    2008.122018.10 中科院光電研究院  副研 

    2018.112019.03 中科院微電子所   副研 

    2019.04至今,      中科院微電子所   正高工 

    社會任職:

  • 國家知識產權局學術委員會,中國專利審查技術專家 

    財政部政府采購評審專家

    研究方向:

  • 光電測量、精密控制

    承擔科研項目情況:

  • 1. 248nm KrF光刻機曝光光源開發(負責人,重大專項/3600) 

    2. 40W 4KHz ArF曝光光源產品開發(主要成員,重大專項/11957) 

    3. 浸沒式曝光光源研制與小批量產品生產能力建設(主要成員,重大專項/34866.67)

    代表論著:

  • 1. Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement2017SPIE Advanced Lithography 

    2. A design of energy detector for ArF excimer lasers2017SPIE, 

    3. 準分子激光器溫度控制系統設計,量子電子學報,2015.

    專利申請:

  • 1. 基于Smith預估補償的準分子激光器溫度控制方法及系統 

    2. 一種激光器中心波長測量的溫漂反饋方法 

    3. 一種準分子激光器能量探測器的能量值標定系統及方法 

    4. 一種準分子激光脈沖能量穩定性控制方法 

    5.基于原子吸收的FP波長計溫漂校準裝置和方法

    獲獎及榮譽:

  • 2009北京市科學技術獎一等獎/排名10 

    2010上海世博會科技攻關成果特別獎/排名第3 

    2017中科院北京分院成果轉化特等獎/排名第9
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