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通知公告

“Journal of Microelectronic Manufacturing”第三卷第一期發表征稿

稿件來源: 發布時間:2020-03-31

  近期,由中國科學院微電子研究所、國科大微電子學院聯合創辦的國際全英文學術期刊《Journal of Microelectronic Manufacturing》(JoMM,國際標準期刊編號ISSN2578-3769)成功出版了第三卷第一期。 

      本期專題文章如下: 

 

  DFM: “Design for Manufacturing” or “Design Friendly Manufacturing” 

  Wenzhan Zhou, Hung-Wen Chao, Yu Zhang, et al. 2020 JoMM Volume 3, Issue 1: 20030101 

 

       


   Key Process Approach Recommendation for 5 nm Logic Process Flow with EUV Photolithography 

  Yushu Yang, Yanli Li, Qiang Wu, et al. 2020 JoMM Volume 3, Issue 1: 20030103 

 

  JoMM 旨在發表集成電路制造領域中從基礎研究階段到工業大規模量產階段的研究成果,內容包括但不限于DesignProcessMetrology & Yield ControlPackagingMaterialsEquipment 等方面。作為開放閱覽電子學術期刊,JoMM致力于實現快速發表,稿件錄用后即時上線,可閱覽、下載、引用。 

  目前,JoMM正在進行2020年征稿,并免版面費,同時也在征集Special Issue的專題,以及歡迎新編委、同行評審專家加入JoMM,詳情請查看官網http://www.jommpublish.com/. 

  歡迎投稿! 

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