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學術活動

中國科學院集成電路創新研究院(籌)2018年“集成電路先導技術—器件工藝”研討會成功舉辦

稿件來源: 發布時間:2018-10-09

  2018年9月28日,由中國科學院集成電路創新研究院(籌)工藝總體部策劃并組織的“集成電路先導技術——器件工藝” 研討會,在中科院微電子所成功舉辦。本次會議以探索下一代集成電路先導技術為目標,邀請到國內不同領域內的多位知名學者與工程技術專家參加,針對“延續摩爾定律的納米CMOS新器件與新技術”和“后摩爾時代新材料與新原理器件研究”兩個主題開展了學術報告與圓桌討論。中科院微電子研究所所長、創新研究院籌建組長葉甜春出席會議并致辭,科技處處長李平出席。所長助理、先導中心主任王文武、副主任殷華湘、李俊峰、謝玲、楊濤以及所內多位科研股干參會,研討會分別由殷華湘研究員和吳振華研究員主持兩個會場。 

  清華大學錢鶴教授、北京大學黎明研究員、復旦大學孫清清教授、西安電子科技大學韓根全教授、浙江大學趙毅教授、中科院微系統所朱敏副研究員和中科院物理所杜世萱研究員、中科院半導體所趙建華研究員、北京大學張志勇教授、復旦大學包文中教授、中國科技大學汪喜林研究員分別參與了兩個主題研討并作了精彩的學術報告。中芯國際聯合實驗室的卜偉海總監、王文博經理特邀出席了本次研討會。 

  在“延續摩爾定律的納米CMOS新器件與新技術”主題研討會上,殷華湘研究員首先闡述了本次會議背景,并簡要介紹了中科院微電子研究所的歷史、架構、人才培養、科研方向和研究成果;中國科學院集成電路創新研究院(籌)籌建思路、未來規劃和任務使命;著重闡述了器件工藝技術研發方向、未來研究趨勢及本次研討會所要進行學術交流和討論的主題。錢鶴教授作了“RRAM在存算融合的應用”報告,他闡述了開發存算融合AI芯片的重要性,從器件的角度,分析了實現存算的難點,分享了目前的研究進展和對未來研發方向的展望。黎明研究員分享了硅基圍柵納米線集成及應用的相關內容,分析了圍柵納米線包括結構形成、納米線形貌控制、多閾值調控等集成關鍵工藝,并指出了集成應用中面臨的包括隨機漲落、GIDL靜態功耗以及熱電偶合等挑戰。孫清清教授作了“半浮柵晶體管及其芯片集成技術”報告,介紹了在半浮柵晶體管實用化方面做的工作,并指出其在存儲、處理器以及傳感器多方面應用的可能性。韓根全教授作了“High Mobility MOSFET and Beyond CMOS”報告,分析了采用新材料、新結構實現低功耗集成電路的方向,具體分析了包括提高溝道遷移率的溝道工程方面、鍺材料的p型晶體管的研究工作,并對具有超陡亞閾值的負電容晶體管進行了具體介紹。趙毅教授作了“面向7nm及其以后技術代應用的SiGe/Ge器件技術”報告,分析了應用于SiGe/Ge器件的包括臭氧后氧化、二維材料鈍化表面以及Ge基存算結合的先進工藝,介紹了基于Ge-MOSFET有效質量、缺陷表征方面的測試表征工作。朱敏副研究員分享了高速低功耗相變存儲材料與機理研究的工作。他指出相變存儲器具有非易失性、高密度、多級存儲以及CMOS工藝兼容性好的優勢,分析了相變存儲器的研究現狀,并介紹了基于Ti-Sb-Te材料的相變存儲器的工作和展現出的優異性能。 

   在“后摩爾時代新材料與新原理器件研究”主題研討會上,吳振華研究員介紹會議背景與會議主題。杜世萱研究員作了“基于石墨烯/硅烯二維異質結構的整流器件的設計與構筑”的報告,從理論和實驗的角度分析和介紹了一種利用硅原子插層的方式成功構筑的具有晶圓尺寸、高質量、大氣下穩定特征并具有整流效應的石墨烯/硅烯二維異質結構。趙建華研究員作了“關于低維窄禁帶半導體納米結構”的報告,介紹了利用分子束外延技術,采用“自下而上”的方法,在制備高質量窄禁帶半導體納米結構方面取得的一系列進展,為新型納米器件方面的研究提供了新的方向。張志勇教授分析了關于碳納米管晶體管的現狀與挑戰,介紹了半導體碳納米管的特性和在半導體器件上的巨大應用價值,探討了碳管CMOS晶體管的規模集成方法,并分享了在構建基于碳納米管的復雜集成電路方面的工作。包文中教授作了“關于二維半導體材料的微電子器件研究”的報告,分析了目前二維半導體材料在材料生長、器件制備等方面面臨的問題和挑戰,介紹了一系列在實現材料制備、器件工藝和集成優化的有機結合方面的工作,為探索二維半導體材料在信息器件領域的實際應用提供了思路。汪喜林研究員作了“光量子信息處理新進展”的報告。他從光子的基本量子特性出發,具體分析了光量子技術在量子通信和量子計算領域的應用,介紹了光量子信息技術的最新進展及發展前景。 

  報告結束后,專家們還進行了技術研討與交流,就一些面向未來集成電路創新發展的關鍵技術問題進行了深入而具體地討論,并對未來可能的合作方向作出了展望,為今后的產學研合作發展新一代集成電路先導技術提供了有價值的思路和方向。 

參會嘉賓合影

葉甜春所長致辭 

109會場殷華湘歡迎致辭及會議主持 

215會場吳振華歡迎致辭及會議主持     

邀請嘉賓報告(錢鶴教授、黎明教授、孫清清教授、韓根全教授、趙毅教授、朱敏副研究員) 

邀請嘉賓報告(杜世萱研究員、趙建華研究員、張志勇教授、包文中教授、汪喜林研究員) 

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